光刻机是制造芯片的核心设备之一，光刻机概念股涉及多个领域和上市公司。这些概念股包括半导体设备及材料领域的企业，如华为海思、中芯国际等芯片制造商，以及相关的科技类上市公司。这些公司涉及芯片制造的多个环节，包括芯片设计、制造、封装等，是芯片产业链上不可或缺的一环。随着科技的不断进步，光刻机的重要性日益凸显，相关概念股也备受市场关注。

1、铭普集团（铭普光机电股份有限公司）：该公司主营产品包含光通信领域的核心器件光通信光模块，其间接持有子公司瑞士MEPHYX公司研发的光刻技术有望改变现有半导体制造光刻技术垄断局面，铭普集团还持有苏州锐成半导体有限公司的部分股权，该公司是一家半导体设备公司，专注于半导体精密仪器研发制造领域。

2、华工科技产业股份有限公司：该公司是一家激光技术公司，其激光智能制造装备产品线涵盖多种激光加工设备，包括激光先进制造装备、激光显示智能制造装备等，虽然公司并未直接涉足光刻机领域，但激光技术对于光刻机的制造具有一定的影响，华工科技还持有武汉华工激光产业投资基金投资的武汉锐科光纤激光技术股份有限公司的部分股权，锐科激光主要产品包括光纤激光器及其工艺装置等，间接与光刻技术相关。

仅为部分光刻机概念股，股市中的相关概念股会随市场变化而变动，建议在进行投资决策前仔细了解公司的业务、财务状况和市场前景，并寻求专业金融顾问的建议。